PRODUCT
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MA-1000 series (수동 노광기)
Exposure system for Research
컴팩트한 디자인으로써 수동 작동하여 ONE SHOT 노광 할수 있는 메뉴얼 시스템
제품개요
- ▷Glass, Wafer, Film등에 대응하는 실험/연구용 노광장치 소량 생산 최적화
▷Contact 노광(SOFT,HARD)과 Proximity노광 선택 가능
▷최대 400mm * 400mm의 기판 대응가능
▷초고압 수은등, 용도와 기판 사이즈에 500w,1Kw,2Kw,3.5Kw 사용
| 기판 SIZE | 최대 200 x 200mm , Ø4 ~ 6 |
|---|---|
| 광원 | 초고압 수은등: 500W or 1KW |
| 본체 치수 | W1240 x D1100 x H1725mm |
| 본체 중량 | 400kg |