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MA2000~4000 series
Exposure System for other Mass Production
마스크와 정렬된 포토레지스트 코팅 기판에 패턴을 출력하는 노광시스템
제품개요
기판의 전면 일괄 노광한 자동 Proximity 노광기 System.
액정, Ceramic Condenser, Thermal head 등 희망에 맞춘 장치 구성이 가능.
Auto alignment 기능 포함 (MA-4000)
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